全新的MX12R半導(dǎo)體 FPD 檢查顯微鏡，*支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
|
|
觀察方式
|
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
|
|
觀察筒
|
無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
|
|
目鏡
|
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版
|
|
物鏡
|
無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
|
|
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X
|
|
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 50X 100X
|
|
轉(zhuǎn)換器
|
明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
|
|
機(jī)架組
|
反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
|
|
透反機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
|
|
載物臺(tái)
|
右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺(tái)面積 718mmX420mm，移動(dòng)范圍 ：356mmX305mm
|
|
帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ；玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用）
|
|
電動(dòng)平臺(tái)
|
面積 495mmX641mm，移動(dòng)范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動(dòng)，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺(tái)
|
|
照明系統(tǒng)
|
明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌，視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
|
|
攝影攝像附件
|
0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
|
|
其他
|
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測(cè)微尺 ；DIC 組件
|
