
PFA花籃 / 清洗花藍(lán) / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器,可依照客戶需求設(shè)計(jì),全氟烷氧基材質(zhì)有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性,耐高溫200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿),主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。
● 可雷雕、可裝RFID進(jìn)行載具&材料追蹤
● Cassette依材質(zhì)特性的選擇參考:
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